Flip chip MEMS microphone package with large acoustic reference volume Proc. Eurosensors XXIV, September 5-8, 2010, Linz, Austria Feiertag, Gregor (DE-588)114909857 aut Pahl, Wolfgang (DE-588)113042345 aut Winter, Matthias (DE-588)109952553 aut Leidl, Anton (DE-588)106334948 aut Seitz, Stefan (DE-588)106801864 aut Siegel, Christian (DE-588)109007212 aut Beer, Andreas (DE-588)105929859 aut software, multimedia eng MEMS Mikrofon Procedia Engineering https://doi.org/10.1016/j.proeng.2010.09.121 urn:nbn:de:bvb:m347-dtl-0000000892
Flip chip MEMS microphone package with large acoustic reference volume Proc. Eurosensors XXIV, September 5-8, 2010, Linz, Austria
Feiertag, Gregor (DE-588)114909857 aut
Pahl, Wolfgang (DE-588)113042345 aut
Winter, Matthias (DE-588)109952553 aut
Leidl, Anton (DE-588)106334948 aut
Seitz, Stefan (DE-588)106801864 aut
Siegel, Christian (DE-588)109007212 aut
Beer, Andreas (DE-588)105929859 aut
software, multimedia
eng
MEMS
Mikrofon
Procedia Engineering https://doi.org/10.1016/j.proeng.2010.09.121
urn:nbn:de:bvb:m347-dtl-0000000892